二手 VARIAN 3290 #9043983 待售

VARIAN 3290是由VARIAN Technologies Inc制造的自动溅射设备。它是一种用于薄膜精密高效沉积的高压低温涂层系统。这种独特的装置能够生产高质量、可重复的层层薄膜，组成精确，厚度均匀。该机由自动溅射目标、基片处理器、RF/DC电源、真空工具和气体面板组成。溅射靶为异外轴结构。目标材料（通常是金属、半导体或超导体）在清洁真空和高纯度载气的良好控制环境中溅射到基板（通常是硅片）上。溅射是一种先进的膜形成沉积过程，其中金属薄膜是通过用高速热电子粒子流轰击目标表面而形成的。RF/DC电源提供高直流和RF功率级别,并具有出色的控制和稳定性。为薄膜均匀沉积提供了对底物温度的精确控制。在溅射过程中，将气体面板连接到资产上，以引入和控制载气。3290模型还具有通过向沉积室引入射频能量来产生等离子体环境的设施。该设备的典型操作参数为高达1000 °C的高腔室温度和高达1000伏的低电压，允许厚膜沉积，但对薄膜沉积的精确控制。VARIAN 3290的真空系统由连接到泵的真空室组成。室内压力控制在10-4以下的湿度水平，以保持环境的纯度，保证膜厚度均匀和质量。3290是生产高质量、组成精确、沉积厚度均匀的薄膜层的可靠高效单元。自动溅射功能可确保结果与可重复输出一致,使其成为各种薄膜应用程序的理想选择。这台机器的先进特性使其成为研究和工业用途的绝佳选择。