二手 VARIAN 3290 #9075491 待售
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ID: 9075491
优质的: 6"
Sputtering system, 6"
(3) Target assemblies: Conmag II
Station 1: Heated etch with AE RF-10 power supplies
Station 2: Heater table with conmag II
Station 3: Heater table with conmag II
Station 4: Heater table with conmag II
(4) Temperature controllers: EUROTHERM 818
Controller: FLUKE 1722A modified with flash drive and floppy drive
Multimeter: AGILENT / HP / HEWLETT-PACKARD / KEYSIGHT 3438A
Ferrofluidic transfer plate feedthru grade
(3) Ferrofluidic shutter feedtrhu upgrades
Ion gauge controller: VARIAN 880
Remote power supply panel, digital readout
Etch matching unit controller with digital readout meters
RF RWD & REFL Remote meter panel
Cryo pump: CTI CT-8 with SC compressor
Does not include dry scroll mechanical pump
Power supplies:
Target 1: inner 2.5kW, outer 12kW
Target 2: inner 2.5kW, outer 12kW
Target 3: inner 2.5kW, outer 12kW
1989 vintage.
VARIAN 3290是一种最先进的设备，能够在直径达300 mm的基板上提供高精度的溅射工艺。3290是需要精确控制沉积过程的研究和生产应用的最终解决方桉。结合了高速、目标利用率优异、操作简便、灵活、蒸发能力等优点。VARIAN 3290系统完全自动化,可实现可靠的沉积和可重复的结果。它还提供直径可达300毫米的各种基材，并与包括氧化物和金属在内的标准溅射目标兼容。其高精度单元允许对沉积过程进行更精细的控制，使用户能够创建具有不同材料和厚度的复杂多层体系结构。3290机采用磁控管溅射工艺沉积材料涂层。该工具采用单丝阴极偏置式溅射枪设计，由射频电源供电。该枪利用旋转磁场控制溅射时产生的弧线，达到了较高的加工效率。使用射频偏置电压可以提高沉积速率。该资产与确保清洁和安全运行的气体进气模型完全集成在一起。它具有控制空气流动和纯度的集成高真空室，以及保证膜质量的自动抽水选项。此外，水循环设备有助于在过程中保持最佳温度，防止过热和可能损坏的部件。VARIAN 3290具有直观的控制系统,可提供出色的过程数据读数和过程控制。这包括手动和自动沉积监测，以及有助于确保用户安全的警报和保障措施。此外,该单元允许同时生产多种薄膜体系结构,同时提供每个过程的详细信息。总体而言，3290是产生精确、可重复的薄膜沉积结果的可靠方法。其先进的功能使其成为研究和生产应用的热门选项,并具有高精度控制和灵活的体系结构选项。它是任何溅射过程的完美解决方桉。
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