二手 VARIAN 3290 #9139677 待售

VARIAN 3290溅射设备是一种独特的用于金属和介电薄膜沉积制造的仪器。专为生产优质金属或介电薄膜和高温平面MOS器件而设计。3290提供从1到4个目标的金属和电介质的高通量溅射,功率范围可达5kW。该系统通过提供对沐浴参数的现场控制，能够提供广泛的溅射背景。VARIAN 3290的骨干是其集成的真空发电单元，它提供了超快的真空吞吐量，工作范围低至1 x 10-10 Torr。该机还具有多面沉积室，利用高性能磁环电离（HPMCI）保证基板的均匀性。它还由低运行成本的VARIAN直流溅射源供电，在保持高沉积时间的同时降低能耗。除了基本功能外,3290还提供多种可选设备。这包括一系列的传感环境，可以直接测量温度、压力和沉积材料的电气特性。这个工具还有一个动态膜测量资产，它允许在沉积过程中对各种材料的表征进行精确控制。该型号还具有高度先进的Server Equipment,它允许对整个溅射过程进行远程控制。它能够同时控制多达8个目标,并提供自动化的数据收集功能。它还具有一个复杂的真空泄漏检测功能，它允许一个快速和容易的泄漏检测过程。VARIAN 3290为高耐用性打造，生产高质量的薄膜，最大厚度为2 µm。它由一系列客户服务选项支持,包括现场维护和验证。该系统能够产生可重复的结果，而无需频繁校准或修改，使其成为生产高性能材料的理想选择。