二手 VARIAN 3290 #9174775 待售

VARIAN 3290溅射设备设计独特,可为各种材料和应用提供强大、高性能和先进的溅射和蒸发能力。这种高水平的性能是通过其精心设计的在级部件实现的，其中包括一个精确控制的直流高频电源，三个涡轮泵送和涡轮分子泵送超高真空电平（UHV）的选择，对溅射室和真空电平的一触式控制，以及多种先进功能。3290的高性能得益于其先进的设计和工程元素，包括其具有非易燃无毒气电催化剂的完全密封的释放阀，以及它的高真空室，其中包括了疏散的氙气环境和独特的加热系统的组合。此外，电源效率高，控制精确，而溅射室提供精确、可靠的基板控制。VARIAN 3290还提供了广泛的应用，包括薄膜沉积、金属和氧化物溅射、蒸发和蚀刻。该装置能够提供精确、均匀的多晶和单晶靶标沉积，也可用于在刚性和柔性基板上的薄膜沉积。受温控制的基板卡盘使其成为高温过程的理想选择,其易于使用的特性使安装和操作过程更加快速。3290还具有双源操作，使得两种不同的基板可以同时溅射。这样可以确保以最小的停机时间实现最大的工艺速度,并使用户可以更好地控制沉积参数。此外，机器还提供关于压力和真空水平的精确反馈，从而实现精确可靠的过程控制。总体而言,VARIAN 3290是一种高度可靠的高级溅射工具,它提供了一系列高度通用和高效的沉积功能。其强大的设计、精确的控制和易于使用的特性使其非常适合各种薄膜沉积、溅射和蒸发应用。