二手 VARIAN 3290 #9226098 待售

VARIAN 3290溅射设备是一种经济高效、可靠的高通量薄膜沉积解决方桉。它设计用于工业和实验室环境。它具有一个可容纳多达10个直径不超过9英寸的基板的加工室。腔室设计由三个RF/DC等离子体源组成，它们可以独立调节速率和均匀性。也有可调的水流率进行冷却。该系统配备了两个不同的工艺容器，包括一个最多有四个源持有者位置的源桶，以及一个同样有四个源持有者位置的提取器桶。源可以快速、轻松地更改。3290还具有多种电源和过程控制选项。这些控制允许精确的薄膜沉积。温度、压力、泵速都是可编程的。有外部转子传动，使压力和泵速得以调节。这有助于确保溅射层的均匀性。VARIAN 3290还包括多种安全特性。其中包括只要闸阀打开就可以防止电源通电的互锁，以及防止过热的冷却装置。除了提供可靠的薄膜沉积所需的安全特性外，3290还提供了极好的成本节约。通过最大限度地减少维护停机时间,公司可以大幅降低总体运营成本。它也很容易安装和操作，即使对于没有经验的人员也是如此，使其成为许多工业和实验室应用的理想之选。VARIAN 3290溅射机是许多工业和实验室薄膜沉积应用的可靠且经济实惠的选择。它具有可调功率速率、温度、压力和泵速控制功能,可精确沉积各层。它还易于安装和操作，可以显着降低运营成本。