二手 VARIAN 3290 #9226265 待售

VARIAN 3290是一种干式、静电、高真空溅射设备，设计用于薄膜涂层的沉积。该系统在一个独立的单元中提供三种沉积技术-直流电（DC）、脉冲调制直流电（PMDC）和射频（RF）。该单元的工作原理是在真空室内产生一个涂层材料和Ar气体的等离子体，然后向基板加速。涂层材料通常是合金--如钛、铬和铝--尽管可以使用其他金属和非金属。在溅射过程中，等离子体轰击中带正电的离子侵蚀目标材料，一些发射的粒子随后被整合到基板上的涂层中。3290机由抽水机、电源、控制器、多目标、射频工具以及温度和真空监测设备组成。它有两个或四个磁控管，取决于应用，每个磁控管的额定功率高达100瓦。磁控管与电源耦合，为溅射沉积提供必要的电压和电流。控制器提供可调功率级别、目标选择和基板温度控制。该资产还具有一些旨在防止模型故障的安全功能。电压可以限制在最大5 kV，并以设定的间隔监控电源，以防止过热。设备还配备了自动释放压力，以便在气体积聚过多的情况下安全运行。VARIAN 3290有多种尺寸，可容纳直径达500毫米、重量达50公斤的多种基材。它也是用户友好的，可以编程为允许在某些时间为扩展运行溅射。该系统及其组件的可移植性使其非常适合现场应用。总体而言，3290是一款可靠易用的高性能溅射装置。它能够用各种材料填充或涂覆各种基材，其先进的安全特性允许可靠和安全的操作。