二手 VARIAN 3290 #9227752 待售

VARIAN 3290是一款高端溅射涂层设备，旨在满足不断增长的对更高质量、更经济高效、更可靠的薄膜沉积技术的需求。该系统具有广泛的可调参数，以确保在整个溅射过程中涂层均匀。它采用一件式铝制框架设计，保证出色的稳定性和抗振性，并包括主动抗振控制单元，以确保准确、精确的沉积。3290溅射涂层机配置了两种工艺优化的腔室配置，以实现工艺灵活性和生产效率。两个会议厅选项；标准（ETC-1）和先进（ETC-2），旨在支持磁控管和直流溅射、等离子体增强离子束沉积、电子束沉积和热蒸发等多种处理技术。该工具还支持从金属中广泛选择材料的加工技术，其中包括Ti、Al、Cu等、电介质、有机材料和陶瓷。该资产由一个真空密封室和一个射频匹配网络组成，该网络具有多达3个独立的电源，用于复杂的过程控制策略。启用了触摸屏的控制面板,具有实时绘图、诊断和故障排除功能,可对沉积过程进行紧密高效的监控。VARIAN 3290的扩展压力范围（10−11至10−3毫巴）使高压和低压处理都能支持气体和有机物的使用。3290还提供了广泛的选项,例如滚转系统、先进的基板处理系统和各种特殊的功能要求。此模型可以针对研究、原型设计或印刷电路板、集成电路、平板显示器和磁性记录介质等大体积涂层应用的特定需求定制。VARIAN 3290的设计具有良好的工艺理解以及可重复和可靠的工艺结果。此外,它的有效性和灵活性使其成为许多工业、研究和消费者应用的热门选择。