二手 VARIAN 3290 #9236342 待售

VARIAN 3290是由VARIAN Semiconductor Equipment Associates, Inc.制造的先进溅射设备。该系统专为多种应用而设计，包括薄膜的制造、复合半导体器件的生产以及微加工。3290具有许多独特的特点,例如其获得专利的磁控管溅射技术,可提高溅射速率并产生具有改进的均匀性和附着力的薄膜层。该单元还具有集成的等离子体蚀刻能力，具有可编程的过程变量和端点检测，以进一步提高过程控制。这种等离子体蚀刻工艺可以用来产生狭窄的沟槽和精细的特征。此外，VARIAN 3290由于其广泛的电源供应，具有较高的沉积速率。它可以容纳范围广泛的腔室尺寸，从6英寸到14英寸，最多四个溅射源。利用可调节的倾斜特性，溅射源可以精确瞄准基板。该机还具有快速基板加热能力，具有集成的热电偶和PID控制，允许温度控制降至25°C。3290还有一个先进的基于计算机的流程控制工具，通过允许操作员访问实时流程数据和趋势分析，帮助简化流程开发并产生优化效果。还集成了数字激光干涉仪资产，用于测量和监测总厚度的对准和均匀性，同时在纳米级提供对端点厚度和层厚度的精确控制，以达到高精度。该车型还配备了广泛的安全特性。它具有两级用户身份验证、入侵者监视、火灾报警设备、温度过载保护和ESD/EMI保护。此外,VARIAN 3290系统的设计符合FDA标准,以确保异常安全和高效的工作环境。综上所述,3290溅射装置是一种高级解决方桉,具有多种功能,可帮助提高生产能力和提高工艺控制。其创新的磁控管溅射工艺、集成的等离子体蚀刻能力、各种腔室尺寸、可调倾斜特性、快速基板加热、先进的过程控制机、激光干涉仪工具，使其成为多种应用的理想选择。