二手 VARIAN 3290 #9236343 待售

VARIAN 3290是一种溅射设备，设计用于将金属、氧化物、氮化物和其他溅射材料的薄膜沉积到基板或靶上。溅射是半导体器件制造中使用的一种工艺，用于将材料薄膜从真空密封室沉积到基板上。3290是一种三源、高通量的工具,具有并排的基底单元,可实现高效生产。该系统以大约1x10-7Torr的腔室压力运行，并允许通过射频功率、断开时间和目标基板功率配置来操纵沉积速率和沉积均匀性。VARIAN 3290还可以配置一系列溅射气体。它能够处理尺寸不超过8英寸的基板，使其适合各种应用。该设备配备了一个机器人装载机，在加载指令和远程作业执行方面提供了灵活性，使机器能够顺利运行。3290还配备了先进的真空控制、压力和温度传感器以及故障定位功能。所有这些特性使得它适合在生产和研究环境中使用。该工具提供方便灵活的自动化控制,并提供优异的效果。用户可以从Web浏览器访问VARIAN 3290,从而实现远程配置和控制。它还提供实时诊断,允许优化过程。此外，该资产提供了卓越的均匀性和沉积性能，使其成为各种应用的可靠模型。综上所述，3290是为薄膜沉积应用而设计的可靠、强大的溅射设备。它提供高吞吐量和灵活的自动化,从而实现高效、准确的生产。它的高级功能和控制使其成为研究和生产级别应用程序的理想选择。