二手 VARIAN 3290 #9236351 待售

製造商
VARIAN
模型
3290
ID: 9236351
Sputtering system Shutter interlock chassis.
VARIAN 3290是为金属和氧化物涂层应用而设计的紧凑型溅射设备。它利用两个3英寸(7.62厘米)的磁控管阴极和一个平面阴极以多种材料沉积薄膜和涂层样品。该系统能够将保形薄膜沉积在复杂和大面积的基板上,覆盖范围均匀。该装置利用自动喷涂工艺对样品进行涂覆。这一过程依赖于一个高频射频电源,为两个反向旋转的磁场产生目标提供一个偏置电压,创造一个高能等离子体环境,从目标向基板溅射材料。离子化气体或氙气被用来提供额外的高能粒子通量,允许更大范围的薄膜性质和增加的批量生产能力。3290还配备了闭环控制机,允许精确调整溅射速率和均匀性功能。通过对工艺参数的精确控制,可以在大型基板上实现均匀覆盖的理想薄膜厚度剖面。所有工艺参数都是自动的,从磁场调节到厚度控制.VARIAN 3290是生产高品质薄膜和涂层的宝贵工具。它旨在提供一种简单、高效的方法来生产各种薄膜和涂层,具有出色的覆盖面和保形效果。该工具还为批量生产应用提供了经济高效的解决方桉,可用于各种行业,如电子、汽车、航空航天和光学元件。
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