二手 VARIAN 3290 #9236357 待售

VARIAN 3290溅射设备是将材料薄膜沉积到基板上的通用工具。由VARIAN Inc.开发的3290是一个单室系统，能够执行标准的溅射沉积和溅射蚀刻过程。它配备了一个易于使用的离子源，它利用一束聚焦在一块聚光光束上的氙原子，在直径达6厘米的地方溅射金属或其他物质目标。VARIAN 3290是一个高度可靠的单元，允许高达每分钟35纳米的快速沉积速率。3290具有对沉积速率、离子电流、离子能量、气压控制等工艺参数的良好控制。机器的控制器可以很容易地编程，以确保沉积过程的精确控制。VARIAN 3290还可以用于在溅射前清洗基板表面，通过自动等离子清洗操作，可以通过工具的控制器轻松监控。3290支持多种测量和诊断，如原位离子电流和温度测量。这样就可以准确、一致地沉积薄膜，而无需额外的计量设备。此外，VARIAN 3290还有一个智能处理室，设计用于在整个目标上实现最大的电离效率和溅射速率均匀性。3290在功耗方面也很高效。它只需要一个单一的13 AMP供应就可以操作，使得它非常适合空间是稀有商品的应用。此外，VARIAN 3290的工艺室可以很容易的隔离、密封、通风，以达到最佳的安全性和性能。总体而言，3290是一种极好的溅射资产，能够以快速沉积速率提供高质量的薄膜。它具有强大的过程控制能力、节能施工能力以及同时执行标准溅射沉积和溅射蚀刻过程的能力。VARIAN 3290是一个理想的选择，任何人寻找一个可靠和高效的模型为他们的沉积需求。