二手 VARIAN 3290 #9236365 待售

VARIAN 3290是一款前沿溅射设备，旨在满足半导体和薄膜用户的需求。该系统能够使用低压溅射沉积或离子束溅射沉积技术，对金属、介电、硅和半导体等多种材料进行薄膜沉积。另外还有一个配套装置VARIAN 3300，它是为超高真空过程而设计的，能够实现更快的沉积速率。3290采用模块化设计,使其能够重新配置以满足各种需求。它可以很容易地配置各种旋转和倾斜的磁控管构型，使氧化物、氮化物和金属薄膜沉积在各种底物上。机器内强大的电磁体允许高密度和均匀的沉积速率。VARIAN 3290还配备了两种不同类型的阴极直流电源：标准干式电源和功能更强大的湿式电源。干式电源具有较好的沉积特性，因为它效率高，能产生较窄的电流脉冲。湿式电源适用于需要较高电离通量以改善沉积物的工艺。该工具还具有完全可定制的温度控制级，允许在操作过程中精确加热基板。该级可以容纳各种温度曲线，以确保薄膜在基板上的最佳沉积。此外，3290可以容纳各种各样的基板，从错综复杂的纳米材料到大面积的微电子基板。此外，资产还配备了两个不同的负载锁，用于高效的基板转移和清洁过程。负载锁采用先进的冷却模型设计,可确保对整个设备的温度进行精确控制。这种冷却系统还有助于保护设备中的敏感部件免受机械应力的影响。总体而言，VARIAN 3290是一种高度可定制的溅射机，设计用于在各种材料和基板上精确沉积薄膜。同时，它的模块化设计和先进的组件允许在操作过程中实现最大的效率和控制。该工具非常适合广泛的半导体和薄膜应用。