二手 VARIAN 3290 #9236366 待售

VARIAN 3290是一种溅射设备，广泛应用于半导体和材料行业，用于沉积金属、半导体、氧化物等材料的薄膜。3290利用广泛的配置选项来执行各种沉积过程。它允许精确控制,并具有内置的安全功能,以确保可靠和可预测的结果。其高效运行有助于降低材料成本和生产成本。它具有很高的工艺精度、可重复性和控制性，这对于即使是很小的变化也能产生很大影响的薄膜结构很重要。VARIAN 3290利用高效三极管磁控管溅射源。这种类型的溅射允许在大基板上非常均匀的沉积，使其成为更大效率多氯联苯的理想选择。系统配有大功率阴极，加速电子进行溅射。阴极可产生高达30千瓦的有效离子电流，即使在低溅射压力下也能提供广泛的活性。3290的高效基板加热单元利用感应线圈瞄准基板表面。这样可以同时进行基板温度控制和基板旋转,从而确保均匀的加热和薄膜厚度。基板温度和基板旋转均可在溅射过程中调节，以保持均匀沉积。VARIAN 3290具有高级状态显示功能,因此用户可以检查操作条件并快速排除任何问题。3290还包括一个配方驱动的程序，使所有过程步骤自动化，并确保过程质量控制。这样就更容易复制以前的沉积参数，降低沉积过程中底物损坏的风险。总体而言，VARIAN 3290是一种先进的溅射机，非常适合材料和半导体工业，大量用于沉积各种材料和组件的薄膜，用于动态应用。其高效率、可靠的工艺控制、高均匀性和静态沉积，使其成为许多不同应用的宝贵选择。