二手 VARIAN 3290 #9236371 待售

VARIAN 3290是一种用于薄膜沉积的稀有气体溅射设备，用于要求最苛刻的薄膜沉积应用。它通常由一个直流或脉冲磁控管溅射源、一个独特的基板支撑平台组成，这种平台能够在基板和基板之间进行可重复的交配，以及具有仪表和互锁的高效真空泵送系统。该单元通常由一个大圆柱形腔室组成，该腔室装有顶部安装的溅射目标，该目标围绕基板支撑平台布置。该平台可以以高度可重复的方式上下移动,以精确匹配目标基板距离,并且根据应用,一次最多可沉积3个基板。该腔室设计为在2 x 10^-9 Torr或更高的超高真空（UHV）压力下工作。采用涡轮分子泵（TMP）产生特高压条件。溅射源可以是直流磁控管，也可以是脉冲磁控管，能够很好地控制沉积速率和组成（例如Ti/Al氧化膜）。直流或脉冲目标装有提高蚀刻速率均匀性的屏蔽，在某些系统中也可以倾斜以帮助均匀性。还采用特殊的阴极安装，防止目标短路到腔壁，确保操作可靠。最后，3290配备了用于基板旋转和倾斜、电流和电压到目标的过程监测和控制仪器、用于监测腔室压力的质谱仪、自动基板对准和适应性热加热器，以便对基板进行温度控制。综上所述，VARIAN 3290是一种用于高质量、可复制薄膜沉积的强大溅射机。它在光学涂层、半导体和MEMS器件制造和OLED显示器制造等许多要求苛刻的薄膜沉积应用中受到青睐。