二手 VARIAN 3290 #9236473 待售

VARIAN 3290溅射设备是各行业用于表面涂层和沉积应用的有力工具，在薄膜沉积中提供了出色的附着力和均匀性。该系统由一个高性能腔室组成，能够持续高温和真空过程，也能在低温下运行。3290单元的主要部件包括一个多位置负载锁；涡轮分子泵浦的高真空室、溅射源和上部压板组件。此外，该机还包括高真空涡轮泵和低真空隔膜泵。涡轮分子泵为高、超高真空应用提供了卓越的性能，还具有可变速度控制，可提高工艺吞吐量。设计了VARIAN 3290工具的多位置锁载室，以最大限度地提高吞吐量和生产率。它可以快速装载和卸载基板，而且还可以调节以容纳各种尺寸和形状的基板。该资产还支持各种沉积过程，包括常规和磁控管溅射、脉冲溅射蚀刻和热蒸发。3290's sputter source are designed to product excellent uniformity, even at high through rates, with a life selection of target materials and shapes.预设的目标角度可确保均匀性并确保一致的溅射覆盖。此外，目标材料和形状可以很容易地调整，以适应所需的沉积过程。上部板式组件采用可互换元件设计,可提供多种处理功能。它还允许对不同的基材尺寸、形状和材料进行有效的真空密封。VARIAN 3290旨在为高通量薄膜沉积提供最佳效果。这种型号是研发的绝佳选择，因为它是一种通用且用途广泛的溅射设备，具有很高的可靠性和成本效益。此外,它易于使用的控制和处理基板尺寸和材料类型的能力使其成为商业应用的理想选择。