二手 VARIAN 3290 #9240545 待售

VARIAN 3290是一种高真空溅射设备，采用独特的阴极电弧磁控管将沉积材料溅射到基板或组件上。它是一种通用工具，用于涂覆小零件和原型新材料或工艺。该溅射系统由多个隔离的高真空室组成，具有直观的图形用户界面，便于操作。在3290的初级腔室中，气体由涡轮分子泵与冷冻泵耦合排出，腔室由高效石英卤素灯加热，从而实现更好的膜粘附甚至沉积。腔室还有一个旋转的石英管，允许快速的基板旋转和出色的均匀性。该单元中使用的阴极电弧磁控管产生电流产生的电弧，然后用来从阳极溅射目标材料。先进的磁控管装置为最佳的薄膜质量和沉积速率提供了通用、精确的功率。二次室包含一个陶瓷真空室，可以装载任何沉积过程的基板。该室包括可承受极端温度的多层真空绝缘层，可在基板上进行多层沉积和精确蚀刻。此外，它还包含一个安装在室底的水槽，用于收集和清除溅射物质。自动控制机器允许VARIAN 3290远程操作,并具有多种操作选项,包括刀具宽设置和沉积参数。该资产还具有多个真空阀和波纹管，以保持每个腔室的压力。此外，3290还采用了离子轰击模型，通过磁力加速低压室中的离子来帮助优化沉积层的附着力，防止它们与底物接触。该设备还配备了光学计量系统，用于测量沉积层的精确厚度。总体而言，VARIAN 3290溅射装置是涂层小零件和原型开发的理想选择。其独特的阴极电弧磁控器，加上自动化的控制机器，多个真空室和阀门，以及通用的离子轰击工具，允许精密的材料沉积，具有出色的附着力和均匀性。