二手 VARIAN 3290 #9245003 待售

VARIAN 3290是由VARIAN Semiconductor设计的最先进的溅射设备。能够为微电子工业生产优质材料。3290设计用于在真空环境中将材料薄膜沉积在半导体晶片上。它配备了单或双溅射源、可变电源、离子蚀刻源、高真空泵送系统，以提供全面的真空过程解决方桉。VARIAN 3290利用电子回旋共振（ECR）实现材料的高速率均匀沉积。ECR方法可以更好地控制沉积材料的速率、厚度和均匀性,从而提高性能。该装置还提供干法和湿法，湿法由几种等离子体蚀刻组成，在材料上形成高分辨率层。3290具有安全方便的几个特点，包括内置硬件监控机、真空计端口和可调节高度平台。此外,VARIAN 3290还包括一个自动化的过程控制工具,可用于实时识别和排除与过程相关的问题。运算符还可以为每个作业自定义工艺参数,如速率、沉积时间和沉积厚度,以确保获得最佳结果。3290是一种可靠且成本效益高的溅射资产,它对沉积材料的速率和均匀性提供了无与伦比的控制。它具有多种安全和方便的功能,其高度自动化的过程控制模型使您能够轻松排除任何与过程相关的问题。VARIAN 3290设计用于半导体晶片上的高质量沉积，在微电子工业中产生更高的产率和提高的性能。