二手 VARIAN 3290 #9255392 待售

VARIAN 3290是一种主要用于生产微电子的溅射设备。它是一个紧凑的、集成的系统，能够执行各种工艺，如氮化全新、二氧化硅、铜、低温聚硅的沉积，以及正负RIE（反应性离子蚀刻）等蚀刻工艺。3290比其他溅射系统有几个优点，例如它的小、紧凑的尺寸和大的真空室。它设计用于在从简单的2 "x 2"到6"晶圆大小的一系列基板上运行。VARIAN 3290的特点使它具有执行各种溅射任务的多功能能力。它具有调整溅射过程速度的能力，以匹配被沉积基板的大小和复杂性。它还具有各种不同的溅射目标，允许不同的沉积材料和蚀刻过程。有可根据溅射类型操作的直流或射频（RF）电源的选择。还可以对这些电源进行编程,以调整RF的电压范围从0-5 kV到DC的0-3kV,从而实现对溅射过程的精确控制。3290配备了该过程的全面信号控制。它有几个数字显示，如压力读出，温度和电压水平指示，磁压信息，和腔室温度。该单元还具有内置的线性编码器，用于监视溅射目标的线性运动。它还可以连接到个人计算机进行数据采集和编程。总体而言，VARIAN 3290是一种高效的溅射涂料机器。它是一种符合人体工程学的工具，与其他溅射系统相比，它占用的空间要少得多。其可调参数范围可用于制造一致、高质量的溅射涂层。此外，3290适用于低温、小型化电子，以及先进微系统的发展。VARIAN 3290具有精确的步进电机控制和易于操作，是研究和生产工作的理想紧凑型溅射资产。