二手 VARIAN 3290 #9257985 待售

VARIAN 3290是一种高通量溅射设备，设计用于在一系列基板表面快速和精确地沉积薄膜。这种沉积工艺具有多种优点，包括金属沉积速率高，金属层附着力改善，零件的电学和光学性能改善。3290使用磁控管溅射技术将纳米层材料沉积在基板上。该系统能够加工200毫米方形的基材和各种材料，包括不锈钢、铝、钨、钛、铜、铬、钴、镍和金。VARIAN 3290有一个在1到6E-3 Torr范围内运行的真空室，允许以最小的污染直接沉积过程。射频和直流磁控管溅射是可用的，可以通过触摸屏界面控制。溅射枪由圆柱形磁铁组成，在腔内产生高密度、均匀的等离子体。基板由旋转台保持在腔室内；沉积速率通过调节旋转速度和磁体产生的磁场来控制。一种稀有的气体，例如氙气，可以以5至120 sccm的速率辅助过程。3290使用机械泵或冷冻泵维持室内真空。该单元还具有自动化的可编程控制功能,允许每次重复精确的过程。可以通过具有自动倾斜能力的图像监视器和自动操纵器监视该过程。VARIAN 3290提供精确的层厚度控制,最小精度为10埃。此外，每次运行最多10层的均匀和化学计量沉积是可以实现的。本机本质上是薄膜沉积的完整工艺解决方桉，每次都提供可靠、可重复的结果。