二手 VARIAN 3290 #9273814 待售
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ID: 9273814
Sputtering system, 6"
With PC
(3) Process modules
AC Rack
Compressor
Particle reduction option
Water pump option
CTI 8F Cryo pump
Utility box
Power supply type: 12kW (Gen1)
RF Bias option
DC Bias with heater
EUROTHERM Heater controller
FLUKE 1722, 1722A / KESA Controller
Controllers:
FLUKE 1722A with floppy diskette
Wafer Load Controller (WLC)
Wafer Process Controller (WPC)
ARGON MKS-250B Controller
Wafer Heater Controller (WHC)
EUROTHERM Heater controller
Thin film monitor
Thermocouple gauge control
Interlock and interface chassis
Vacuum system control
Ion gauge control
Cryo temperature monitor
Power distribution chassis
Low voltage power supply
Master interconnect
RF Etch monitor
Phase mag discriminator
Electrical utility box
Mechanical utility box
Wafer handler utility box
DC Power supplies: 12kW
RF Generator IKW: RFPP RF-10
Bias option heater block
Mechanical pump
CTI Cryo pump and compressor
Coaxial feedthrouh type
HI-Vac valve
Source power meter
Cassette motor controller
RF Matching controller
Wafer handler assy
No loadlock turbo control
No VIPS turbo controller
Metal cassette missing.
VARIAN 3290是由VARIAN公司设计开发的溅射设备。这种最先进的系统可以精确控制薄膜沉积过程。它具有良好的材料沉积精度和良好的清洁过程控制.3290单元为三部分单元。材料源模块是金属、合金和氧化物等材料以预定速率送入机器的位置。一旦物料被送入物料来源，这个过程就发生在加热的腔室内，基板被放置在那里。第三部分，电源模块，提供了一个可调节的射频信号，它在基板和材料之间产生相互作用，最终在基板上形成所需材料的薄膜。该工具提供了对沉积过程的高度控制，这包括多个操作频率、温度控制和可调流量。这种高度的控制和精度是通过创新的电源技术、精确的磁场度量以及脉冲等离子体增强溅射技术实现的。此外,该资产还具有直观且用户友好的界面,可以控制模型的设置参数并实时监控参数。该设备配备了多种不同的安全功能，如系统内安全停止按钮以及自动超压保护装置。这些安全功能旨在确保机器的安全运行，同时也确保受影响材料的完整性。这确保了所沉积材料的质量。该工具是市场上最可靠、最先进的溅射资产之一。它也是最方便用户的系统之一，使得在不同的用例中易于学习和随后利用。VARIAN 3290适用于许多不同的薄膜沉积和利用应用，为广泛的行业提供了质量最高的光学涂层、薄膜等等。该模型将使任何实验室更接近先进的薄膜沉积，并将创造更大的竞争优势。
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