二手 VARIAN 3290 #9375148 待售

VARIAN 3290是为各种沉积应用而设计的溅射设备。它利用RF和直流溅射电源的组合等特性，在基板上实现高度保形和均匀的薄膜涂层。该系统还具有平面和可旋转的溅射目标，使一个或多个材料层能够高比例地沉积在基板上。3290配备了高真空泵和气体减排系统，能够实现高速增长和沉积过程。此外，该单元设计紧凑，可在方便用户和符合人体工程学的工作场所进行小面积的足迹操作。VARIAN 3290具有计算机控制的基于频率的溅射电源控制机,可实现任何过程的最大沉积速率。该工具还包含可调节的涡轮溅射资产，可用于射频和直流溅射沉积。该型号配备了电磁溅射快门控制功能，可以让用户精确控制溅射功率和沉积速率。此外，该设备还具有直观的数字惰性气体喷射系统，能够精确控制沉积过程。3290还利用先进的溅射气体装置，能够精确控制溅射流量和基板温度。该机包括一个闭环温度控制工具，能够精确的温度控制基板表面。此外,资产还包含动态压力控制功能,可以对其进行调整,为所需的涂层速率提供正确的压力控制。VARIAN 3290提供了单位面积比任何其他可比系统最高的溅射浓度。3290是现有最先进的溅射系统之一，可用于高度保形和均匀的薄膜沉积过程。该模型利用广泛的溅射电源来控制各种参数，如基板温度和表面压力。此外，该设备还配备了可调节的涡轮喷射系统和基于频率的喷射功率控制装置，以及直观的惰性气体喷射机。该工具还包含动态压力控制功能,以确保达到所需的涂层速率。