二手 VARIAN 3290 #9398805 待售

VARIAN 3290溅射设备是一种多功能、高性能的沉积系统，设计用于广泛的物理气相沉积（PVD）应用。该单元提供了对沉积速率和工艺参数的精确控制，快速沉积速率和大型样品的准确均匀性，以及坚固可靠的操作。3290是一个模块化的PVD机器，有各种附加模块和组件来支持特定的应用程序或进程。该工具包括大功率溅射枪、射频或直流电源、监控工艺参数的能力，以及最多四个工作室的集成储物室。这些腔室可以进行传统的溅射沉积、多目标溅射和双目标沉积、反应性溅射以及随着工艺要求的变化而产生的各种附加配置。为了确保更好的均匀性，资产提供了自动均匀性补偿（AUC）以提供跨基板的均匀性。该模型还具有高精度温度控制功能,从室温到1000°C以上的过程温度,以及光学和保形膜层的温度固定功能。VARIAN 3290设计用于在1x10-7 Torr的真空水平下运行高达10 Torr，泵送速度高达每秒30升，符合材料兼容性的最新RoHS标准。该设备由数字步进电动机（DMS）、线性电动机（LM）和开环模拟电动机（AM）的组合供电，提供快速准确的运动控制。为了最大安全，3290包含了集成安全联锁系统、外部紧急停止功能、嵌入式控制器等高级安全功能。控制器提供了易于重复的装置设置，以及根据需要调整溅射参数和沉积参数的能力。VARIAN 3290是一款用途广泛、可靠的PVD机器，可用于制造多种层状材料，包括金属、合金、氧化物和电介质。该工具非常适合在微电子、光电子、航空航天和国防、汽车和工业用途等领域的应用。该资产专为易于维护而设计,可进行升级以提高性能和增强过程控制功能。