二手 VARIAN 3290ST #293628007 待售

VARIAN 3290ST是一种坚固、高性能的溅射设备，设计用于将高质量的薄膜沉积到基板上。利用创新的双磁控管原理，创建了一个均匀、高度可控的沉积过程。这允许将各种不同的材料（包括导电材料、绝缘材料和磁性材料）沉积到不同形状、大小和组成的基板上。VARIAN 3290 ST由腔室和真空控制沉积头组成。腔室是密封的，包括一个低阻抗磁控管和两组三极管电极。为保持其真空水平，包括涡轮分子泵。磁控管提供均匀的溅射场，并允许可控的沉积速率。它还有一个可调的过程气体控制系统，以确保最佳的膜质量的最佳环境。沉积头由两组线圈组成，产生磁场。第一组线圈用于对基板施加等离子体功率脉冲，而第二组则用于产生均匀的溅射场。溅射场能够在基板表面上产生均匀的能量分布，产生较高的沉积速率和明确的薄膜质量。该装置设计用于处理真空和大气压过程。其製程气体控制机允许调节不同的气体流量，以及压力、比率、偏置电压和温度。3290ST还配备了先进的控制工具，可确保最佳的过程控制和可重复性。3290 ST是一种可靠且经济实惠的溅射资产，非常适合打造高品质的薄膜。其先进的设计提供了增强的胶片质量和过程控制，以及较长的使用寿命。它具有高性能,非常适合汽车、航空航天、光学和半导体行业的应用。