二手 VARIAN / INTEVAC MDP-1100 #293596074 待售

VARIAN/INTEVAC MDP-1100溅射设备在显示器、半导体和光电器件等多种应用中被广泛用于薄膜沉积。该系统是一种通用工具，能够利用广泛的沉积参数沉积各种材料，包括金属、无机绝缘体和氧化物。该单元由几个部件组成，主要部件为射频电源、腔室、溅射阴极、真空机、电源。射频电源用于在腔室中创建和维护低频等离子体。然后用这种低频等离子体将目标材料从溅射阴极上有效溅射到基板上，形成所需的薄膜。等离子体是通过控制负直流电压和正直流电压而产生的，这两种电压调制断开溅射材料所需的能量。腔室由一个底座、一个钟形罐和一组阀门组成。底座允许工具操作，同时保持腔室内的受控环境。钟形罐通常由低电导率铝制成，能够保持要溅射的材料，而不受环境的任何干扰。此外，阀门可用于引入、提取或回收各种材料进行溅射和拍摄。溅射阴极由作为目标支架的目标材料的相对形状组成，可以安装在基座上，也可以安装在旋转式溅射资产中。它由目标材料和磁控管的支撑结构组成。磁控管有助于产生溅射过程所需的等离子体。真空模型用于保持室内的适当压力。它由几个部件组成，如粗加工泵、涡轮泵、冷冻泵和机械泵，用于维持溅射过程所需的真空压力。电源向射频电源和设备的其他组件提供电能。根据溅射过程的要求，可以提供直流或交流电压。综上所述，VARIAN MDP-1100是一种功能强大且用途广泛的溅射系统，能够沉积各种薄膜。该单元的组件协同工作，以确保最佳溅射结果，使其成为最流行的沉积应用系统之一。