二手 VARIAN M 2000/8 #9083929 待售

VARIAN M 2000/8是一种多用途溅射设备，常用于先进的可变压力PVD工艺。它是一个紧凑的桌面系统，占用最小的空间，但为高效和精确地沉积各种材料提供了一系列的特点。该单元包括一个C架溅射室，生产多目标能力，一个重型，低维护的高真空泵，以及一个易于使用的材料设置控制器。溅射室包括可编程的静电卡盘，适用于热辅助和非热辅助材料沉积。该机还包括能够支撑10-5 Torr稳态压力和10-3 Torr至10-8 Torr可变压力范围的先进泵送技术。VARIAN M 2000/8的生产多目标能力使多达8种材料能够在同一行动中从多达4个单独的目标沉积。目标持有者可以放置在腔室的任一侧，这样所有目标都能被均匀照亮，这有助于确保所有材料的均匀沉积。该工具还针对高产沉积工艺进行了优化。它可以以高达10 kW的总目标功率运行,并具有内置诊断程序来检测和解决可能的沉积问题,并优化总沉积速率。此外，资产还包括全面的安全功能，包括防止物料装卸事故的联锁，以及保护操作员安全的动手防护屏蔽。M 2000/8为PVD沉积需求提供了全面可靠的解决方桉。它将先进的溅射技术与精确的多目标能力和安全特性相结合，以最大的效率产生高质量、均匀的材料沉积，减少了总加工时间和成本。