二手 VARIAN M 2000/8 #9272645 待售

VARIAN M 2000/8溅射设备是一种高性能的角溅射沉积系统，旨在在广泛的工业和研究挑战中实现优越的表面质量。VARIAN M 2000/8由最先进的数字驱动8英寸3kW溅射源组成。该源能够产生工业要求苛刻的工艺所需的高沉积速率。材料在一系列直流和直流脉冲模式下从多达八个目标同时溅射，从而能够根据每种应用的具体需要，快速和容易地调整沉积速率。该装置配有先进的端点，在薄膜沉积过程中提供精确的沉积控制。此外，机器的线性运动机动化级允许最多五个基板同时装入真空室，从而允许多个沉积项目的最大吞吐量。这些阶段提供了在加工过程中对基板进行完整而精确的垂直调整。此外，该工具还包括一个两步疏散资产，既可快速疏散腔室，又可在处理过程中实现最终的精细控制和压力均匀性。M 2000/8被设计为在沉积过程中提供最高水平的性能，具有一整套先进的数字和模拟控制功能，包括独立的目标头控制、预设/手动溅射功率设置以及对每个溅射源的独立电流和电压监控。这些功能允许精确控制关键工艺参数。该腔室经过精密的设计，能够在腔室内提供精确的沉积剖面，并设计了一种特殊的铁磁屏蔽装置，以确保在操作过程中溅射材料的高度均匀性。这使得溅射时的表面质量更好。此外，高性能腔室设计确保了在沉积过程中保持良好的薄膜，没有污染物和不良杂质。为确保其使用寿命，该模型采用了质量最高的材料，其设计可持续多年的不间断服务。此外，M 2000/8号文件得到了瓦里亚纳航空公司在溅射方面的专门知识的支持，在整个设备使用期间提供了一个全面的技术支持论坛。总体而言,VARIAN M 2000/8是在广泛的工业和研究应用中实现卓越表面质量和性能的理想溅射系统。