二手 VARIAN M2I #293813097 待售

VARIAN M2I是由VARIAN Systems, Inc.制造的高端多轴溅射沉积设备。该系统旨在在金属、半导体、塑料和陶瓷等多种基板上提供高质量的溅射涂层。VARIAN M2 I单元在三轴机器人平台中采用间接直流磁控管/弧靶配置。这种配置确保了最佳的工艺精密和先进的涂层溅射沉积能力。该机设有一个封闭的工具溅射沉积室，有一个八英寸的基板级，5-13个武装机械臂，3个双尖端，机器人溅射枪，以及8个indigital process controllers。机械臂可以使资产同时溅射复杂和大面积的基板，同时保持一致的层厚度和质量。另外，仪器有一个压力控制模型，范围为+/-3 mTorr，以及提供快速脉冲或连续气体流动的气体输入/输出子系统。M2I的数字PLC单元具有先进的过程内控制算法，使设备既包括反应式溅射沉积，也包括纯被动溅射沉积。此外，该仪器还有一个集成的三室真空子系统，有助于确保沉积过程中的高清洁度和低背景气体压力。此子系统还可用于需要多种材料的配方。M 2 I提供了广泛的附加功能,以进一步优化和简化沉积过程。其中包括一个可编程的目标加热器，可用于将目标加热到所需的溅射温度，以及一个实时的过程监视器，实时显示各种溅射参数。VARIAN M2I是一种先进的多轴溅射沉积系统，旨在在金属、半导体、塑料、陶瓷等多种基板上提供高质量的溅射涂层。该单元以八英寸基板级、5-13武装机械臂、三把双尖、机械溅射枪和压力控制机为特色。此外，该仪器还有一个数字PLC单元，具有先进的过程内控制算法，以及一个三室真空子系统，可确保最佳的清洁度和低背景气体压力。最后，VARIAN M2 I具有可编程的目标加热器和实时过程监测功能，以进一步提高工艺的复杂性和涂层的溅射沉积能力。