二手 VARIAN M2I #9272644 待售

VARIAN M2I是一种多功能离子植入器和监控器，设计用于高效可靠的晶圆离子植入。该设备能够在几乎没有人为交互的情况下更改整个晶片集。它非常适合生产具有各种类型植入过程的设备。VARIAN M 2 I的束参数允许电子束和离子束加速到多种能量，允许电荷状态转换和在多种条件下植入。非常适合用于大规模生产。M2I具有快速灵活的光束结构,能够进行自适应离子植入.设备配备了自动监控和诊断系统，以确保设备保持在特定参数之内。这台机器监视从加速器到波束线的所有组件。它还能够自动控制和对准横梁,以实现最佳的植入.M 2 I包含一个内部实时数据采集工具,允许进行电子、热和动态过程控制。这确保了可重复和可靠的植入，为特定的材料和结构创造了一个强大的过程。其他组件包括用于离子生成的射频等离子体源和用于优化光束收集的可变孔径资产。该模型的计算机控制部件具有高度精确的位置控制能力。这包括快速扫描具有小光束大小变化的大区域。VARIAN M2I还具有可编程的控制和硬件功能，以提供最大的灵活性，并为精确植入提供广泛的设置。设备的自动自我校准和诊断系统允许优化性能。它允许在出现任何问题之前进行预防性维护,从而有助于检查是否正常运行并减少停机时间。为了确保可靠和可重复生产,VARIAN M2 I包括几个系统。其中包括一个统计配方优化单元，它允许快速、准确的启动和关闭以及快速的循环配方更改。其他系统如自动植入深度跟踪机和自动错配控制工具最大限度地提高效率。M2I是高效、可靠、可重复离子植入的行业领导者。其快速灵活的光束配置和先进的监控系统保证了可靠的生产。凭借其众多的组件和系统,M 2 I提供了无与伦比的效率、工作效率和可重复性。