二手 VARIAN / NOVELLUS M2i #9133229 待售

VARIAN/NOVELLUS M2i是一种最先进的溅射设备,非常适合半导体制造业的先进沉积应用。VARIAN M2i为最苛刻的产品提供精确、可靠的性能,以满足最高的电导率、电迁移和寿命要求。NOVELLUS M2i具有独特的铝化工艺,可产生低电阻结构,从而实现更先进的设备设计并最大限度地减少功耗。M2i的专利、高速率溅射沉积模块是系统的重要组成部分，提供了无与伦比的吞吐量。通过控制反应物的比例，用户可以精确地开启/关闭某些反应过程，制造出超薄导电膜。该股还利用VARIAN MBX CenterStage™，这是一个自动化的指挥和控制机器，支持准确的调度和流程监督。CenterStage™使得能够实时检测基板失准、溅射沉积速率、目标特性等参数，最大限度地减少任何产量损失，提高吞吐量。VARIAN/NOVELLUS M2i还提供可靠的数据恢复功能,通过无缝自我诊断和恢复防止电源中断或故障。此外，VARIAN M2i溅射工具具有自动清洁功能，可保持腔室清洁，不受污染物污染。这有助于提高最终用途产品的质量,并从长远来看产生更好的性能。NOVELLUS M2i溅射工具是寻找先进、可靠、快速沉积资产的半导体制造商的绝佳选择，能够满足他们对导电性、电迁移和功耗的严格要求。其独特的镀铝工艺、快速的沉积速率、自动化的指挥控制模型，使其成为先进沉积应用的理想溅射工具。