二手 VARIAN / NOVELLUS M2i #9146577 待售

VARIAN/NOVELLUS M2i溅射设备是最通用的沉积工具之一。它是一个多技术平台，具有全自动的现场监控能力。VARIAN M2i装有两个或四个平面阴极,能够在25 MHz时提供高达100瓦的功率,在250 MHz时提供1000瓦的功率。适用于多种材料，包括金属、合金、氧化物和硫属化物。NOVELLUS M2i是一种多技术工具，具有射频和直流磁控管溅射，以及反应性离子蚀刻（RIE）和先进的基板旋转。这些技术可用于各种组合和工艺，以便能够沉积先进的复杂材料。该系统还具有高功率高速MESA直流溅射源，集成到同一个真空室中。这个集成平台允许不同来源的不同材料同时溅射，以及溅射源之间的快速切换。与溅射装置一起使用M2i先进控制和监测系统可以完全自动化，以确保达到所需的特性。这一点通过现场监测能力得到进一步加强，这种监测能力可以实时测量厚度、成分和电性能。此外,VARIAN/NOVELLUS M2i包括一个专利的多参数控制功能,该功能允许同时监视多个溅射源,从而实现卓越的过程管理和优化。VARIAN M2i还包括一些附加功能,使其成为高级研究的理想工具。其中包括：一个用于蚀刻的反应性室、一个原位表面诊断机、一个温度范围很广的大样本室，以及一些其他功能，使先进材料能够定制沉积。NOVELLUS M2i集成了材料沉积和自动控制系统,为复杂材料的精密沉积提供了解决方桉。