二手 VARIAN / NOVELLUS M2i #9153571 待售

VARIAN/NOVELLUS M2i是一种最先进的沉积工具，利用物理气相沉积（PVD）溅射技术将薄膜沉积在基板上。VARIAN M2i具有双炮塔架构，允许用户在外盾、顶盾和底盾以及基板溅射过程之间快速切换。该系统能够制造高质量、高性能、颗粒污染最小化和与工艺相关的基板加热的涂层。该系统由两个独立控制的炮塔和两个独立的电源组成。炮塔能够在三个独立的过程之间切换，包括外盾溅射、上下盾溅射和基板溅射。外屏蔽工艺利用具有最大400W功率的平行板射频源溅射基板外周，并对基板进行热屏蔽，使其免受加工产品的影响。这个过程有助于在沉积过程中最小化颗粒污染和基板加热。顶部和底部屏蔽进程利用另外两个射频源,每个源提供最大400W功率。这些源相对于底物呈一定角度定向，使离子远离底物，在离子碰撞区域保持较高的工艺温度。此外，顶部和底部的屏蔽作为一个额外的热屏障，并允许沉积材料慢慢覆盖基板的表面。最后，基板溅射工艺使用600W最大功率的直流电（DC）源将材料直接溅射到基板上。这一过程有助于确保沉积均匀的薄膜，并确保沉积过程高效。总体而言，NOVELLUS M2i是一种用途极为广泛的溅射系统，能够制造高质量、精密的涂层，且底物损坏和颗粒污染最小。这种高效的PVD工艺非常适合广泛的薄膜应用，包括磁性记录介质、硬质涂层和光学膜。