二手 VARIAN / TEL / TOKYO ELECTRON MB2-730 #9083530 待售

VARIAN/TEL/TOKYO ELECTRON MB2-730是一种紧凑而强大的溅射设备，非常适合薄膜沉积。该系统是完全自动化与溅射源，基板和目标组件，无菌阴极传输装置。溅射源组件具有增强的蒸发器磁溅射源，具有直流和射频磁溅射能力。目标和基板组件包括一个线性平移级,装有圆形或矩形溅射目标,以及一个可旋转的基板支架,便于装载和卸载基板。无菌阴极传输装置旨在确保清洁和可重复的基板在广泛的温度范围内传输，包括离子源和静电快门，以防止有害的颗粒污染。TEL MB2-730可以达到低至10毫升的工作压力,并且可以容纳直径不超过24英寸的基板。它还具有一个温度控制的基板支架，以保持稳定的基板温度，以及为增加安全性，一个氙气回填和快门。该装置设计易于使用和可靠，经过优化，可提供各种薄膜的均匀沉积，包括金属、电介质、导体和半导体。VARIAN MB2-730是一种功能强大、用途广泛的溅射机,非常适合薄膜沉积应用.