二手 VARIAN / TEL / TOKYO ELECTRON MB2-730 #9100777 待售
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ID: 9100777
晶圆大小: 8"
优质的: 1997
WSIX CVD System, 8"
(3) Chamber (L/R/C) System
DCS-WSIX Process specification
(2) Chambers
(2) Loadlocks
(2) Cassettes
(2) MKS Baratron
Water pressure: 5 kg fc m2
Water flow: 33 litre / min
Water temperature: 15-25° C
General exhaust volume: 3.2 m3 / min
With touch panel display
Monitor
Keyboard
Mouse
Turbo pump and dry pump
Gas: WF6 5 SCCM, DCS 500 SCCM, (2) Ar 200 SCCM, Ar 100 SCCM, ClF3 500 SCCM
Power supply: AC 208 V, 150 Hz, 3 Phase, 100 kVA
1997 vintage.
VARIAN/TEL/TOKYO ELECTRON MB2-730是为薄膜和涂层的可靠沉积而设计的溅射设备。该系统采用集成操作面板（OP）,可轻松调整设置、方便数据采集和配方开发。TEL MB2-730具有独特的Magnetron-Quad配置,使设备能够从单个源创建四个溅射弧,从而实现快速高效的薄膜沉积。每个溅射电弧用于沉积不同的材料，机器能够同时进行多层沉积。电磁线圈可以精确调整，以控制施加电离的精确程度。VARIAN MB2-730的腔室采用空气净化和装置冷却技术密封。这样可以确保污染物水平保持在最低水平，并且在沉积过程中可以保持较低的底物温度。因此，我们用这种工具生产的薄膜质量非常高。TOKYO ELECTRON MB2-730内部的源包括磁控管溅射源、离子源和电子枪源。所有的光源都安装在一个可旋转的舞台上，以便于进入，每个光源都有可调节的功率水平，以精确控制薄膜沉积速率。此外，MB2-730还配备了石英监测仪，可以检测室内是否存在二氧化硅盐。VARIAN/TEL/TOKYO ELECTRON MB2-730还配备了多种安全功能来保护设备和用户。有紧急STOP开关，以及气体隔离资产、射频屏蔽和水循环热交换器。该型号还配备了联锁设备，在发生紧急情况时会关闭系统。总体而言，TEL MB2-730是生产可靠优质薄膜和涂料的强大溅射装置。它的Magnetron-Quad配置和可调节的功率水平允许精确控制，集成的操作面板和强大的安全功能保证了用户的安全和设备的完整性。
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