二手 VARIAN / TEL / TOKYO ELECTRON MB2-830 #67592 待售

VARIAN/TEL/TOKYO ELECTRON MB2-830是一种用于薄膜研究和生产的溅射设备。这种通用的系统是为大小零件设计的。它采用磁控管溅射技术，比其他沉积方法具有更高的沉积速率、效率和均匀性。它基于TEL的MB平台，具有高热保护、长寿命和快速周转时间。TEL MB2-830有大量可配置组件,可为用户的应用程序创建最合适的溅射单元。这些部件包括基板和磁化器、磁控管位置组件、平面线圈和惰性气体大气。这些元件有各种尺寸和形状,能够有效地溅射大型零件。机器通过电源和控制器运行，使用1至50 kHz的振荡频率和可配置的溅射气流能力。功率水平可在20至500 W之间调节。其冷却孔径是密封的,可防止溅射操作过程中的任何污染。对于均匀薄膜沉积，VARIAN MB2-830采用多空间均匀监测工具。该资产使用位置传感器和光电池探测器来实现精确的均匀性测量。它还具有用于旋转大样本的横向扫描能力，允许较大的均匀性场。MB2-830可以在从低压、低压、中压到高压的各种真空模式下操作。其工作温度范围从室温到有加热能力的800°C。此外,该型号还符合I类或II类环境要求。为保证最佳循环性能，TOKYO ELECTRON MB2-830配备了先进的直列式清洗系统和智能气体监测设备。这些系统提供连续、安全和一致的部件清洁以及准确的气体监测水平。总体而言，强大多用途的VARIAN/TEL/TOKYO ELECTRON MB2-830溅射系统提供了方便、可靠和高效的溅射操作手段。它提供了广泛的可配置组件和许多高级功能，以保证最高质量的薄膜沉积。此外，还确保最大限度的安全和遵守适用的工业法规。