二手 VARIAN / TEL / TOKYO ELECTRON MBB #293600880 待售

ID: 293600880
Sputtering system 1994 vintage.
TEL (VARIAN/VARTOKYO ELECTRON) VARIAN/TEL/TOKYO ELECTRON MBB (Magnetron Sputter Deposition Equipment)是一种高性能、计算机控制的溅射沉积系统,用于在玻璃、金属、塑料等多种基板上沉积薄膜。该单元设计用于沉积金属、半导体和其他精度最高的材料,该机器由电磁加速溅射源、真空室和控制台组成。溅射源具有特殊的磁控管设计,确保涂层沉积速率均匀,满足半导体芯片组的均匀性要求。此外,溅射源设计用于沉积金属、半导体等材料,精度最高。该工具还具有单一的头部闭环设计,以实现完美的涂层覆盖。真空室配有温度控制资产,确保工艺温度稳定均匀,提供更好的工艺控制和改进基板制备。该模型还包括一个气体流量控制设备,以提供最佳的溅射气体供应,以及一个气体净化系统,以去除从单元腐蚀性气体。控制台交互性很强,允许用户轻松地监控和控制溅射过程。通过使用图形用户界面,操作员可以监控和调整压力、涂层材料、目标温度、功率和溅射等工艺参数。VARIAN/TEL/TOKYO ELECTRON/VARTEL MBB溅射沉淀机设计用于生产和研究环境。其先进的特性使其成为在任何基板上沉积薄膜的理想选择,从研发应用中的细腻玻璃基板到工业用途的大型基板。其独特的磁控管设计确保了均匀的沉积速率,提供了卓越的覆盖范围,并确保了一个一致的金属膜。此外,它的温度控制工具确保了一个可重复、准确和稳定的沉积过程。该资产操作简单,性能一致,是薄膜沉积的理想选择。
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