二手 VARIAN XM-2000 #13670 待售
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ID: 13670
优质的: 2002
PVD System
(4) Target positions
Cryo pumped main chamber
Turbo pumped load locks
Cassette to cassette
Operating system: Windows
2002 vintage.
VARIAN XM-2000是一种高性能溅射设备，旨在为用户提供他们在产品中达到最佳性能所需的统一沉积。VARIAN XM 2000构建在一个高度可靠、坚固且稳定的平台上,在实验室和生产环境中均提供一致的溅射效果,使其成为可靠性和性能的理想选择。该系统结合了最新技术，包括最新的PVD工艺室设计和先进的溅射源，以优化材料的物理和化学特性，以实现最佳的用户性能。XM-2000单元的设计符合薄膜沉积的最高要求。在其核心，机器本身配备了双动磁控管溅射工具。这种溅射资产允许多种复杂的沉积过程，包括多层沉积、低压聚氯乙烯（LPPD）和大面积涂层。此外,高级溅射源还具有提供高功率密度、高吞吐量和低成本操作的功能。该模型还提供了可调的溅射参数，使用户可以轻松调节沉积速率、溅射压力和基板温度，从而对沉积过程进行终极控制。XM 2000包括高效真空设备，配有高性能粗加工泵、机械泵、涡轮泵和油扩散泵。这种多真空系统提供了清洁、高效的工作环境，这对于生产最优质的薄膜至关重要。该单元配备了多种先进的监控功能，包括腔室压力、温度和泄漏检测，以及一台随时间推移记录溅射参数的数据记录机。受监测的室内条件使使用者能够准确监测和衡量其结果，使他们能够就其沉积过程作出知情的决定。VARIAN XM-2000溅射工具也很容易使用，具有用户友好的图形界面。这样就可以快速、轻松地设置和优化溅射资产,而且各种自动化实用程序可以更轻松地排除可能出现的任何问题。此外,该模型还具有自动安全功能,包括接地和联锁,以及紧急关闭（EPO）设备,以保护操作员和系统本身。VARIAN XM 2000具有所有这些特性,是生产均匀、高性能薄膜的理想溅射装置。
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