二手 VARIAN XM 90 #9005924 待售

VARIAN XM 90是专门为航空航天、工业和医疗相关应用开发和生产涂料而设计的溅射设备。使用高能金属、溷合金属和非金属目标材料以及一系列溅射条件，工艺工程师可以生产出各种具有精确均匀性和质量的涂层。VARIAN XM90提供四种五极管装置，可用于溅射、电离溅射和离子辅助溅射等底物的梯度涂层。该系统包括一条数字控制的气体管线，允许过程操作员在低压下运行时快速、突然地改变气体压力，从而确保可重复的过程。设计了一个集成的陶瓷目标定位单元，以确保瞄准区域在基板上的精度。该机器包括用于防止基板损坏的安全电路，以及用于快速识别和解决问题的错误报告能力。XM 90装有紧凑的Reaction Chamber，让製程工程师以最小的占地面积开发高品质的涂层。一个独特的反射面板将腔室内部与外部能源隔离开来，同时还有一个安全联锁装置，如果腔室门没有牢固地锁定，它将关闭向工具供应的过程气体。XM90还配备了带有Modbus Interface的远程操作控制台,允许流程操作员开发流程,并从办公桌远程监视流程。它还具有"灵活的流程调度"功能,使各种类型的配方能够按顺序异步运行。该资产还提供审计和报告功能,使流程工程师能够查看以前的流程、评估和评估当前流程,并消除流程的可变性。VARIAN XM 90专为高批量生产优质涂层材料而设计，为各种涂层应用提供可重复可靠的工艺参数。这种溅射模型非常适合航空航天、工业和医疗应用,可帮助工艺工程师快速高效地开发高质量的涂层。