二手 VCR GROUP TM200S #9377152 待售
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VCR GROUP TM200S溅射设备是一种最先进的真空沉积工具,旨在为半导体沉积提供可靠高效的解决方桉。这种溅射系统由先进的涡轮分子泵送单元、多面离子束枪和高压处理室组成。TM200S是一种多技术机器,可用于磁控管或离子束溅射。VCR GROUP TM200S溅射工具的高压加工室设有两个安装部件的支撑杆和一个喷嘴,可用于溅射沉积或离子喷枪过程。腔室还配有两个不锈钢格栅,一个用于目标,一个用于基板支架。这样可以在防止污染的同时进行平稳和一致的沉积。腔室内的气体分散器有助于将过程气体均匀地分布在整个腔室中,从而确保最佳喷涂过程。除了主加工室外,TM200S资产还配有多面离子束枪。这种离子枪由两件式阳极和阴极室组成,高度可调。可调高度允许迎角和离子束强度的变化。这样可以精确修改最终层的厚度和组成。溅射沉积过程与离子束枪发生在同一腔室中,由涡轮分子泵送模型驱动。抽水设备功能强大,可产生高达10-9 Torr的真空,并有助于保持精确沉积薄膜的最佳环境。系统还有一个数字控制器,提供溅射过程所需的确切功率和压力水平。VCR GROUP TM200S是一种尖端溅射装置,具有精确可靠的薄膜沉积能力。其先进的特性包括快速泵机、可调离子束枪和数字控制器,为生产过程提供了终极控制,有助于确保生产出质量最高的产品。
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