二手 VEECO (2) Doors for Spector #9229856 待售
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ID: 9229856
VEECO （2） Doors for Spector是一种溅射设备，设计用于用一层薄薄的材料涂覆各种表面。它主要用于将金属、电介质和其他化合物等多种材料沉积到各种基材上。该系统是为高精度和优越的层质量而设计的.该单位由两个主要组成部分组成；该工艺室和高频射频电容耦合电源。加工室包含三个内部"门"，一个位于底部，一个位于中心，一个位于顶部。这些门用于装载和卸载基板，在真空处理室中操纵大气，更换准备介质和装卸沉积部件。底部的门用于引入样品基板，一个转移机器人将其运送到中心门。中门专门用于沉积预处理，顶门用于引入沉积元件。高频射频电容耦合电源负责激活溅射过程。它可以用来控制功率水平，能够产生高功率来实现所需的溅射过程。这台机器还允许在沉积过程中进行微调，以确保所得基板的质量。VEECO （2） Doors for Spector工具是一种高度通用和高效的溅射设备,可在各种基板上提供精确的材料涂层。它非常适合生产任何所需成分的薄沉积层，包括金属、电介质和各种其他化合物。该模型由允许用户轻松配置溅射过程参数的软件应用程序控制。此外，使用三个内门可以快速和方便地更换基板或沉积材料，而无需重新配置整个设备。
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