二手 VEECO / CVC CX 6 #9279634 待售

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VEECO / CVC CX 6
已售出
製造商
VEECO / CVC
模型
CX 6
ID: 9279634
System (4) PVD Chambers (One has missing parts) Spare parts.
VEECO/CVC CX6是一种用于各种材料薄膜沉积的溅射设备。该系统专为工业生产和研究应用而设计,具有直流电(DC)磁控管、多目标配置、计算机扫描和同步基板处理等特点。CVC CX6利用先进的直流磁控管,能够以广泛的沉积速率沉积,从低角度均匀膜到高速率保形膜。它配备了多目标配置,使多种材料易于在一个周期内沉积。该单元还具有一个叫做"eVec"的特性,它允许在沉积在具有介电层的基板上时优化基板电容。VEECO CX6还具有自动计算机扫描功能,可实现高精度和可重复的薄膜沉积。计算机扫描允许用户准确地溅射给定基板中的特定区域,并确保区域均匀溅射。机器还包含一个控制器,负责同步基板处理相对于溅射过程。这样可以确保周期之间不会浪费时间。CX6具有柔性真空工具,可根据所沉积的材料使用不同水平的真空压力。资产还具有强大的1000W直流源,能够为任何应用程序生成大量的电源和脉冲配置文件。VEECO/CVC CX6是一种可靠的工业溅射模型,能够精确生产多种薄膜。它结合了计算机扫描、多目标配置和同步基板处理,使其成为工业和研究应用的理想溅射设备。
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