二手 VEECO CVC #9307857 待售

VEECO CVC是一种高性能溅射设备，用于薄膜沉积在大型基板上。这类系统可用于多种应用，如半导体、薄膜光学、医疗设备等。该单元建立在VEECO先进的沉积和腔室设计概念之上。CVC由三个主要组件组成：溅射源、腔室和电子设备。溅射源负责向底物提供高密度的高能离子（离子）通量，然后加热以蒸发目标材料。这将在基板的表面上创建一层薄膜。源可以配置为直流或脉冲溅射。密室是机器的控制中心.该腔室容纳了源、电源、真空泵以及基板。该腔室还包含两个可以相互连接或隔离的独立腔室，以允许不同类型的沉积和不同来源的离子通量。电子设备使工具能够进行编程和监控。电子设备还负责控制气流、压力和其他参数。数据采集和控制软件用于设置参数、监视资产性能和控制模型设置。VEECO CVC能够在大面积生产精确度和均匀度令人难以置信的薄膜。该设备具有集成的气流控制器，可精确控制溅射过程。电子设备允许严格控制溅射速率和工艺气体流动。双室系统允许目标材料的高厚度均匀性和选择性。CVC是沉积薄膜的强大工具。它的多功能性和强大的特性使其成为需要精确和统一的各种应用程序的绝佳选择。VEECO CVC凭借其先进的腔室设计、集成的电子设备和可靠的溅射源，是一种可靠、能干的溅射装置。