二手 VEECO IBS-2 #9220228 待售
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VEECO IBS-2是VEECO制造的一种创新溅射设备。IBS-2利用脉冲直流和动态溅射技术,将金属或绝缘体的薄膜沉积到基片或物体上,用于各种用途。VEECO IBS-2系统非常适合尺寸为6英寸的底物,可根据要溅射的合金或化合物沉积精确且可重复的薄膜厚度。它使客户能够严格控制其界面层,并能够随着需求的变化调整膜厚度。机组集成脉冲功率单元产生的磁场大大增强了溅射过程。该机还结合了一个中央真空室以保持精确的真空压力,一个等离子体源,一个强大的碳氢化合物基等离子体发生器,以及一个基板级,可调以容纳各类基板。IBS-2提供出色的蚀刻轮廓控制,允许创建精确的光刻图样。等离子体源可以容纳各种气体溷合物,包括;氙气、氮气、氧气等,每个都可以用来优化溅射速率、薄膜附着力和电阻率。可调整碳氢化合物等离子体发生器,优化溅射膜的性能,提高其与底物的相容性。VEECO IBS-2还利用传感器技术帮助确保工具在其整个生命周期中保持最佳状态。它还提供了远程操作的便利和图形用户界面,以协助设置和配置。综上所述,IBS-2是一种坚固可靠的溅射资产,能够以传统溅射技术难以达到的精确度和控制水平将薄膜沉积到基板上。它是寻求各种应用程序所需的最高质量输出的公司的完美解决方桉。
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