二手 VEECO INSTRUMENTS VCE.PVDI C-2 #9209412 待售

VEECO INSTRUMENTS VCE.PVDI C-2溅射设备是一种可靠、经济高效的系统,可用于广泛的应用,使基板涂覆薄膜。该设备采用直流电源,为直流直流（DC）提供可调电压和电流设置,以实现最佳沉积速率。该机借助位于刀具下部和上部的两个磁控管溅射源支持单面和双面溅射，以便覆盖基板的顶部和底部。基板由静电夹具固定在适当位置,以便精确放置和均匀沉积.它还具有一个自动炮塔，能够方便地访问，容易基板的变化，而不会中断溅射过程。资产提供多种工艺和配方控制选项，如基板偏置、固定功率以及电流和电压反馈功能，以精确控制薄膜结构和厚度。它具有广泛的溅射气体设置，支持各种沉积类型，如氧化物、氮化物、金属和电介质。它还提供额外的安全功能，如内置互锁模型、压力控制单元和紧急关闭。VCE.PVDI C-2可接受尺寸达150毫米的基板，适用于高达70 mTorr的低压。定制真空室设计为产生优越的沉积条件，在单泵循环后可达到1 × 10-6 torr的压力。最后,该设备的高效冷却器使沉积室和沉积源能够得到有效的冷却.总体而言，VEECO INSTRUMENTS VCE.PVDI C-2是一种可靠、经济高效的溅射系统，旨在为各种应用提供薄膜涂层。它提供了先进的控制选项和工艺设置,以及卓越的压力和真空能力,使其成为高通量涂覆小型基板的理想选择。