二手 VEECO / IONTECH Spector #96855 待售

VEECO/IONTECH Spector是一种专为广泛用途而设计的特种溅射设备，使用户能够通过物理气相沉积（PVD）工艺在基板上生产高质量的涂层。该系统因其高功率的弧光源而独树一帜，能够轻松处理标准、复杂、精致的基板。VEECO Spector是一个多腔单元，有一个用于基板加工的中央腔室和另外两个用于源处理的腔室。每个腔室都有自己的组件，包括离子源、沉积转移机制和一组精确运动阶段。中央腔室在涂层时保持基板，两侧腔室包含溅射过程所需的源。IONTECH Spector机器使用的离子源功能强大,效率高.这些源使过程气体电离，并将其加速至能够打破目标材料的分子键的能量，将其粒子溅射到底物上。沉积传递机制确保颗粒均匀分布在整个基板上，而精确运动阶段通过增加沉积速率和最小化膜厚度变化来提高沉积速度。Spector工具还具有高级控制选项,例如3轴运动控制、温度控制和闭环气体输送资产。利用这些先进的特性，该模型可以精确地处理各种复杂的基板，如具有表面失真模式的基板。再者，铝、钨、钛、钼等材料都可以搭配VEECO/IONTECH Spector设备使用。为了获得可靠的最终结果，VEECO Spector系统具有充分的保护作用，提供环境和过程气体温度控制，以及压力稳定性和射频屏蔽。此外,该设备还提供自动诊断、状态通知和自动对齐墨盒,以实现最佳性能。总体而言，IONTECH Spector是一种高性能溅射机，能够生产高质量的涂料和薄膜。其高效的离子源、自动化的特性和环境控制使得Spector成为许多工业、医学和研究应用的理想选择。