二手 VEECO / SLOAN Spector #9205193 待售

VEECO/SLOAN Spector是一种溅射设备，是一种物理气相沉积（PVD）技术，用于将薄膜层沉积到基板表面。它由真空室和溅射枪两个主要部件组成。真空室是一个密封的、隔离的空间。它被设计用来降低室内的压力，使原子和分子能够自由移动并形成气相。根据要沉积的材料，可以优化真空的不同成分。溅射枪由一个目标组成，即将被沉积的材料、一个原子源、一个电源、一个屏蔽和一个气体喷射器。靶子通常是由要溅射的材料制成，如铜或铝，而原子源通常是气体，如氙气或氙气，以促进溅射。电流通过原子源发送，使气体电离并向目标加速。盾牌保护系统的其他组件，如基板，免受离子的直接轰击。气体喷射器向装置提供额外的气体，如氮气，并有助于防止目标过热。当目标受到高能时，材料的原子从其表面移出。这些原子随后被推向基板表面，在那里沉积并形成所需的材料层。沉积膜的厚度可以通过改变溅射枪的功率、气体的压力和过程的持续时间来调节。VEECO Spector溅射机用于实现对各种材料的高精度制造，如半导体、金属、电介质和绝缘体。其高沉积速率和精确度使其广泛应用于光电、光伏、半导体等应用，是微纳米加工和多层薄膜器件生产中的核心部件。