二手 VEECO Spector HBDG #293645262 待售
网址复制成功！
单击可缩放
ID: 293645262
优质的: 1996
Dual ion beam deposition system
Ion beam deposition system
Horizontal beam, dual gun (HBDG)
IBAD Processing
R&D Size
Dry roughing pump for enhanced UV optical film performance
RF Ion sources with PB neutralizers
Standard vacuum instrumentation via ITAVS
Split drum style chamber
(4) Round targets
External substrate rotation
CTI Cryotorr 10IIRC pump
IC4+
(2) Ion 6cm guns
Plasma bridge neutralizers
5" targets
(4) Position water cooled target carousel with gas flood
Substrate stage: 6"
Water cooled
Rotation
90-0-90 tilt
Currently warehoused
1996 vintage.
VEECO Spector HBDG是一种高功率溅射系统，旨在制造出对薄膜厚度、沉积速率和均匀性有精确控制的高质量薄膜。该系统由基室、目标室、高压电源和真空泵组成。基室是一个长方形的真空室，用于安装三个磁控管溅射源。溅射源连接到一个能干的高压电源，可以精确控制电压。目标安装在目标室，其中包含绝缘壁和冷却的内部架子，以保持目标在低温。两个腔室的压力是通过将腔室连接到两个可以调整到任何所需压力的真空泵来维持的。在溅射过程开始时，腔室被疏散到低压，目标被加热，直到它们的温度达到要求的水平。然后将目标暴露在高压电源产生的强电场中，导致电子被发射。随着电子到达目标表面，它们导致目标物质的原子喷射，形成电离的等离子体。等离子体随后通过暴露在高压下而加速，产生一束朝着基板传播的离子束。利用光谱仪和其他探测器仔细监测溅射沉积过程。这样可以调整工艺，以优化薄膜的质量，提高其厚度的均匀性。Spector HBDG非常适合制造高质量和均匀性的薄膜。用于太阳能电池、薄膜晶体管、MEMS器件、显示技术等多种应用。
还没有评论