二手 VEECO Spector HBDG #9236498 待售

VEECO Spector HBDG是一种先进的尖端溅射设备，由四个不同的模块组成。它是一种高性能的溅射系统，旨在制造低缺陷的纳米材料和设备。Spector HBDG的四个模块结合在一起,提供卓越的蚀刻性能,以适应各种材料和工艺。VEECO Spector HBDG的核心是高密度、高通量（HD/HT）模块，能够同时进行共溅射和离子铣削。此模块包含两个双磁铁溅射室、两个高速电源和一个双束离子源，使溅射膜在一次运行中最多可达100层。HD/HT模块还允许顺序溅射，可用于在单一、高效的过程中沉积复杂的多层结构。第二个模块是利用高真空双磁控管溅射室的低真空频谱（LV/SP）模块。该模块针对非常薄的薄膜溅射进行了优化，对于溅射特殊的薄膜如氧化ha和氮化全新，特别有用。LV/SP模块还具有改进的光学窗口,可提高吞吐量并提高溅射精度。第三个模块是低应力溅射（LSST）模块。本模块设计用于低应力、高耐磨性层的沉积。高能LSST模块采用独特的双层目标单元，以增加总离子通量，减少颗粒表面污染。第四个也是最后一个模块是快速热退火（RTA）模块。该模块能够同时进行热处理和溅射,提供了一个二合一的过程,大大缩短了总处理时间。RTA模块利用高频发电机在短时间内实现高温，其专利的三阳极设计确保了层均匀性和附着力的保持。综上所述，Spector HBDG是一种先进而精确的溅射机，利用四个独特的模块，使低缺陷纳米材料和器件的高效制造成为可能。该工具能够进行多层处理、低应力溅射和快速热退火，以提高材料性能并减少加工时间。