二手 VEECO / DEKTAK Spector #9095769 待售

VEECO/DEKTAK Spector是一种溅射设备，用于将薄膜沉积到表面。它是一个高性能的涂层系统，经过设计以满足各种工业应用的要求，包括半导体、平板、显示器和光学制造。该装置以物理气相沉积技术为基础，使薄膜能够快速、均匀、精确地沉积到基材上。它由一个集成的基模、一个工艺室、一个高精度的基板级和一个集成的工艺控制机组成。该工艺室有两个工艺源-一个间歇室和一个外部源，允许各种沉积技术。该工具旨在加工尺寸不超过4英寸的材料,总工作面积不超过13英寸,温度范围不超过500 °C。这样可以沉积各种材料，包括金属、导体、电介质和电阻器。该资产配备了精密自动化功能，包括无线性和可重复的XYZ运动舞台、双面全自动晶圆处理模型以及获得专利的VisionPlus™ 7-CAD网络摄像头设备。这样可以保证基板的可靠运动、位置、方向、对准和精度。VisionPlus™系统提供了流程的全面图形概述，使用户能够详细监控流程。该单元还提供了用于实时材料表征的EDX质量控制机器。该工具可用于多种应用，包括合成用于高性能电子和/或光学材料的薄膜，以及工业基板的保护性或装饰性涂层的沉积。VEECO Spector资产是为许多类型的工业应用制造薄膜的可靠且经济高效的工具。