二手 VEECO Spector #9115806 待售

VEECO/DEKTAK Spector是一种用于沉积薄膜的溅射设备。用于半导体、微电子、数据存储介质、医疗技术、光学、电子、薄膜研究等领域的应用。VEECO Spector是一个PVD（物理气相沉积）系统。它在真空室中运作，并配有两个溅射源。它结合了垂直溅射装置和平面溅射机器两种机器的特点。平面和垂直源都可以用来沉积不同的材料。DEKTAK Spector还采用多目标模块化设计，能够沉积多种材料和广泛的沉积目标。Spector提供了广泛的配置，并且可以扩展到包括多个目标持有者和样本持有者。它可以以任意顺序沉积多层薄膜，并在一次运行中都有多个材料目标。该工具具有较大的（43.3英寸）工作区域，可沉积多达11英寸的晶片或基板。腔室温度维持在25至40°C。它配备了八通道源冷却资产，以更好地控制过程。使用VEECO/DEKTAK Spector，用户可以沉积多种材料，如金属、合金、复合材料、氧化物、电介质和带有氧化物覆盖层的金属。该模型容量大，具有良好的沉积速率和均匀性。它也非常适合用于薄膜应用的高速生产。VEECO Spector的设计考虑了过程控制，自动化了复杂的沉积任务，以确保即使在高运行速度下薄膜沉积的均匀性和可重复性。设备范围的用户界面软件允许工程师或技术人员控制所有参数、查看流程数据和生成报告。其数据库复印机功能有助于在长期运行和作业过程中保持设置信息完整,并易于访问多个基板和目标信息。DEKTAK Spector是一种精密、均匀的高质量薄膜沉积方法。它能够处理大型晶片和基材，非常适合大型薄膜生产。Spector具有广泛的功能和系统范围的自动化,是实现各行业精密薄膜沉积的理想工具。