二手 VEECO Spector #9394865 待售

VEECO/DEKTAK Spector是一款由VEECO开发的溅射设备，VEECO是一家专门从事精密计量的知名公司。该系统用于制造各种微电子芯片设备，并提供各种根据客户操作需要量身定制的溅射工具。VEECO Spector单元配有坚固的金属底座，以确保精确和可重复的性能。其额定工作范围为10毫升至高于一个大气层，工作功率为100瓦，提供了广泛的工艺能力。这台机器提供了最高级别的过程控制和可靠性。该工具专为薄膜沉积而设计，具有一个主真空室和一个或两个独立的溅射头。它有一个宽阔的平台，有单独的腔室，用于样品移动、预溅射、后溅射和后处理。此资产还包括预溅射期间温度控制的选项。该模型提供了面向应用程序的溅射操作以及精确的目标放置。溅射目标被放置在支架中，可以用最小的努力轻松地从一个位置移动到另一个位置。该平台专为具有紧密沉积控制的可重复溅射性能而设计，可用于多种过程，包括堆迭多层以创建多层膜或用于非标准基板，如大面积工具或高纵横比结构。DEKTAK Spector的设计考虑了生产力。它有一个模块化的设计，允许组件很容易被改变或添加到设备中。该系统还包括一个快速抽水的初级真空室，用于快速高效的排气。另外，溅射头具有独特的可转动和可倾斜设计，以确保目标在沉积低阻力薄膜时的均匀性。最后，Spector是完全自动化的。它包括内置的参数化编程、自动调整功能和警报通知功能，以在过程中向用户发出任何潜在问题的警报。这个用户友好的单位彻底改变了芯片制造行业，被世界各地的公司广泛利用。